硅化鈦粉

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基本信息

中文名稱：硅化鈦粉

英文名稱：Titanium disilicide powder

分子式：TiSi₂

分子量：104.04

CAS#：12039-83-7

熔點：1540℃

密度（20℃）：4.39 g/cm3

外觀形態(tài)：黑色粉體

電阻率：C49ρ=60~100 μ?·cm，C54ρ=12~20 μ?·cm

溶解度：溶于氫氟酸，不溶于水。

儲存方法：儲存于陰涼、通風的庫房，切忌混儲，保持容器密封，遠離火種，庫房必須安裝避雷設備。

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產品用途

硅化鈦粉在集成電路器件中被廣泛應用于金屬氧化物半導體（MOS），金屬氧化物半導體場效應晶體管（MOSFET）和動態(tài)隨機存儲器（DRAM）的門、源/漏極、互聯(lián)和歐姆接觸的制造當中。

（1）可制備一種硅化鈦阻擋層；

（2）制備一種原位合成硅化鈦(Ti₅Si₃)顆粒增強鋁碳化鈦(Ti₃AlC₂)基復合材料；

（3）制備復合功能硅化鈦鍍膜玻璃；

（4）制備一種半導體元件，包括一硅襯底，硅襯底上形成有柵極、源極和漏極，柵極和硅襯底之間形成有一層絕緣層；

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產品優(yōu)勢

福斯曼硅化鉬粉產品可提供微米級別等不同粒度的產品。

已實現(xiàn)工業(yè)化生產的硅化鉬粉產品粒度有5 μm。純度可達99.5 %，99.9 %。

針對實驗室需求，我們一般有500 g，1 kg，等包裝規(guī)格，以滿足實驗室研究用戶的需求，可以按照客戶投料數(shù)量定制包裝規(guī)格。

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產品展示

 

圖 | 2206001 硅化鈦粉 5 μm

 

圖 | 硅化鈦粉產品包裝